行程
X900 mm
Y1000 mm
Z800 mm

测量精度：（1.7+3L/1000）um

手动模式：移动速度：138mm/秒
测量速度：1mm-3mm /秒
自动模式：移动速度：300mm/秒
测量速度：1mm-3mm /秒
操纵杆模式：移动速度 0-80mm/秒
测量速度：0-3mm/秒
微动速度：0-0.05mm/秒
驱动加速度：1000 mm/秒
最大组合驱动加速度：2309mm/秒